Sản xuất chất bán dẫn và điện tử đòi hỏi mức độ tinh khiết hóa học, kiểm soát hạt và độ tin cậy của quy trình ở mức cao nhất. Các bộ phận truyền chất lỏng phải chống lại các chất ăn mòn, dung môi mạnh và các hóa chất-siêu tinh khiết trong khi vẫn duy trì sự ổn định về kích thước và hoạt động-không bị nhiễm bẩn. Công nghệ bán dẫn Miracle Giang Tô cung cấp các giải pháp ống fluoropolymer chính xác được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt này.

 

Bối cảnh ngành

 

Quy trình hóa học có độ tinh khiết cực cao-

Việc chế tạo chất bán dẫn và lắp ráp thiết bị điện tử dựa vào axit, bazơ và dung môi hữu cơ siêu tinh khiết cho các quá trình ăn mòn, làm sạch và lắng đọng.

 

Yêu cầu kiểm soát hạt nghiêm ngặt

Ngay cả sự nhiễm bẩn nhỏ hoặc sự bong tróc của hạt cũng có thể dẫn đến khiếm khuyết ở tấm bán dẫn, vi mạch và linh kiện điện tử, ảnh hưởng đến năng suất và chất lượng.

 

Kiểm soát nhiệt độ và áp suất tới hạn

Hệ thống phân phối hóa chất trong các nhà máy bán dẫn thường hoạt động trong điều kiện áp suất và nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ để đảm bảo kết quả quy trình đồng nhất.

 

Tuân thủ quy định và an toàn

Vật liệu và linh kiện phải tuân thủ các tiêu chuẩn ngành về độ tinh khiết, khả năng kháng hóa chất và an toàn môi trường, bao gồm cả việc phân loại phòng sạch bán dẫn.

 

Điểm đau và giải pháp của ngành

 

Ô nhiễm hóa học và phát tán hạt

Điểm đau:Ống thông thường có thể lọc các ion, hấp thụ chất gây ô nhiễm hoặc làm bong ra các hạt, gây ra khuyết tật trong tấm bán dẫn.

 

Giải pháp:Sử dụng ống trơ ​​có độ tinh khiết cao, có bề mặt bên trong nhẵn và khả năng chiết xuất thấp.

 

Sản phẩm được đề xuất:Ống PFA dành cho dây chuyền hóa chất siêu tinh khiết; Ống PTFE có khả năng kháng hóa chất cao.

 

Khả năng tương thích phương tiện tích cực

Điểm đau:Axit mạnh, chất oxy hóa và dung môi hữu cơ có thể làm suy giảm ống tiêu chuẩn, ảnh hưởng đến tính toàn vẹn của hệ thống.

 

Giải pháp:Sử dụng fluoropolyme trơ về mặt hóa học tương thích với tất cả các hóa chất xử lý.

 

Sản phẩm được đề xuất:Ống PTFE dành cho chất ăn mòn mạnh; Ống PFA để phân phối hóa chất có độ tinh khiết cao-linh hoạt.

 

Độ ổn định kích thước trong quá trình đạp xe nhiệt

Điểm đau:Sự dao động nhiệt độ trong quá trình phân phối hóa chất có thể khiến ống giãn nở/co lại, dẫn đến dòng chảy không nhất quán hoặc rò rỉ.

 

Giải pháp:Chọn ống có độ giãn nở nhiệt thấp và độ ổn định cơ học cao.

 

Sản phẩm được đề xuất:Ống PFA cho dây chuyền linh hoạt, ổn định về kích thước; Ống PVDF cho các phần chịu áp suất vừa phải.

 

Xung áp suất và căng thẳng cơ học

Điểm đau:Máy bơm phân phối hóa chất có độ chính xác cao-tạo ra sự dao động áp suất, làm căng ống và phụ kiện.

 

Giải pháp:Sử dụng ống có độ bền kéo cao và độ dày thành ống chính xác để chịu được xung động.

 

Sản phẩm được đề xuất:Ống PVDF dành cho dây chuyền xử lý-chịu áp suất; Ống PFA để định tuyến linh hoạt.

 

Tuổi thọ ngắn và thay thế thường xuyên

Điểm đau:Ống tiêu chuẩn trong môi trường bán dẫn có thể yêu cầu thay thế thường xuyên do bị tấn công hóa học hoặc bong tróc hạt, làm tăng thời gian ngừng hoạt động và chi phí.

 

Giải pháp:Triển khai ống fluoropolymer có độ tinh khiết cao, kháng hóa chất và có độ ổn định lâu dài đã được chứng minh-.

 

Sản phẩm được đề xuất:Ống PTFE cho dòng hóa chất mạnh; Ống PFA dành cho các đường nét-siêu tinh khiết với bề mặt bên trong nhẵn.

 

Tích hợp với Hệ thống Ultra{0}}Pure

Điểm đau:Ống không đáp ứng các tiêu chuẩn về kích thước hoặc vật liệu của phòng sạch có thể phá vỡ hệ thống tự động và gây ô nhiễm.

 

Giải pháp:Ống-đùn chính xác với đường kính nhất quán và bề mặt nhẵn đảm bảo khả năng tích hợp đáng tin cậy với máy bơm, van và lò phản ứng.

 

Sản phẩm được đề xuất:Ống PFA dành cho đường dẫn chất lỏng tuân thủ-phòng sạch; Ống PVDF dành cho các kết nối cơ học chắc chắn trong các hệ thống cấp công nghiệp-.

 

Nghiên cứu điển hình

 

Nghiên cứu điển hình 1: Cung cấp hóa chất siêu tinh khiết trong chế tạo chất bán dẫn

Một nhà máy chế tạo tấm bán dẫn phải đối mặt với vấn đề ô nhiễm từ ống thông thường, dẫn đến lỗi vi mạch. Công nghệ bán dẫn Miracle Giang Tô đã cung cấp ống PFA với bề mặt bên trong mịn và khả năng chiết xuất thấp. Hệ thống đã giảm được ô nhiễm hạt, năng suất được cải thiện và tuổi thọ dài hơn.

 

Nghiên cứu điển hình 2: Chuyển axit và dung môi cho sản xuất PCB

Một nhà sản xuất PCB yêu cầu cung cấp chất ăn mòn và dung môi một cách đáng tin cậy. Ống PTFE thay thế ống polymer tiêu chuẩn, duy trì khả năng kháng hóa chất và ổn định kích thước. Hệ thống đã chứng tỏ khả năng tương thích hóa học được cải thiện, giảm thiểu rò rỉ và giảm thời gian ngừng hoạt động.

 

Sản xuất chất bán dẫn và điện tử đòi hỏi các giải pháp ống có độ-độ tinh khiết cực cao, độ trơ hóa học và độ ổn định kích thước. Danh mục Công nghệ bán dẫn thần kỳ của Jiangsu gồm ống PFA, PTFE và PVDF đảm bảo độ tin cậy cao, tuổi thọ sử dụng lâu dài-và tuân thủ các tiêu chuẩn phòng sạch, hỗ trợ phân phối hóa chất an toàn,{3}}không nhiễm bẩn và hiệu quả.