Trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến và{0}}cao cấp, hệ thống truyền chất lỏng đóng vai trò quan trọng trong việc đảm bảo độ ổn định của quy trình, năng suất sản phẩm và an toàn vận hành. Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. cung cấp các giải pháp truyền chất lỏng công nghiệp toàn diện được thiết kế cho phương tiện được kiểm soát-có độ tinh khiết, ăn mòn và{5}}độ chính xác cao. Các giải pháp của chúng tôi bao gồm toàn bộ lộ trình chất lỏng-từ phân phối nguồn đến-điểm-sử dụng-đảm bảo độ tin cậy, độ sạch và hiệu suất lâu dài-trong các môi trường quy trình đòi hỏi khắt khe.
Những thách thức của ngành về hệ thống truyền chất lỏng
Kiểm soát ô nhiễm và độ tinh khiết cao
Quy trình bán dẫn liên quan đến-hóa chất siêu tinh khiết và nước siêu tinh khiết (UPW). Ngay cả các ion, hạt hoặc chất chiết xuất kim loại vi lượng cũng có thể ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất của thiết bị. Các hệ thống chất lỏng công nghiệp thông thường thường không đáp ứng được yêu cầu về độ tinh khiết của các nút quy trình tiên tiến.
Phương tiện ăn mòn và phức tạp
Nhiều hóa chất xử lý, chẳng hạn như axit, kiềm và chất oxy hóa, có đặc tính ăn mòn mạnh. Các bộ phận truyền chất lỏng phải duy trì khả năng tương thích hóa học và tính toàn vẹn cơ học khi tiếp xúc lâu dài.
Độ tin cậy của hệ thống và hoạt động liên tục
Công cụ sản xuất hoạt động 24/7. Bất kỳ sự rò rỉ, lỗi kết nối hoặc dòng chảy không ổn định đều có thể dẫn đến thời gian ngừng hoạt động của thiết bị, phế liệu bán dẫn hoặc rủi ro về an toàn. Độ tin cậy của hệ thống cao là điều cần thiết.
Thiết kế thiết bị nhỏ gọn
Thiết bị bán dẫn hiện đại yêu cầu bố trí đường ống dày đặc trong không gian hạn chế. Hệ thống chất lỏng phải hỗ trợ lắp đặt nhỏ gọn, định tuyến chính xác và bảo trì dễ dàng.
Giải pháp kỹ thuật cốt lõi
Giải pháp truyền chất lỏng có độ tinh khiết cao-
Được thiết kế dành riêng cho môi trường quy trình cực kỳ sạch sẽ.
Lựa chọn vật liệu
- PFA, PTFE và PVDF có độ tinh khiết cao-
- Hàm lượng ion kim loại thấp và khả năng chiết xuất tối thiểu
Chất lượng bề mặt bên trong
- Đường dẫn dòng chảy nội bộ trơn tru
- Giảm độ bám dính của hạt và lưu giữ hóa chất
Ứng dụng điển hình
- Ghế ướt và dụng cụ vệ sinh
- Hệ thống phân phối hóa chất
- Đường dây phân phối UPW
Chống ăn mòn-Thiết kế có tuổi thọ cao và bền-
Được thiết kế để chịu được môi trường hóa học khắc nghiệt.
Khả năng tương thích hóa học
Thích hợp cho HF, H₂SO₄, HCl, H₂O₂ và các môi trường khắc nghiệt khác
Thiết kế kết cấu
- hình học chống ứng suất-nứt-
- Kênh nội bộ miễn phí-vùng-miễn phí
Lợi ích hoạt động
- Tuổi thọ phục vụ kéo dài
- Giảm khoảng thời gian bảo trì
- Tổng chi phí sở hữu thấp hơn
Công nghệ kết nối và niêm phong chính xác
Đảm bảo hiệu suất không bị rò rỉ khi hoạt động liên tục.
Phương thức kết nối
- Kết nối hàn-kết hợp
- Phụ kiện kết nối nhanh-theo mô-đun
- Giải pháp giao diện tùy chỉnh
Hiệu suất niêm phong
- Lực niêm phong nhất quán
- Khả năng chống biến động áp suất và chu kỳ nhiệt
Thuận lợi
- ngăn chặn rò rỉ vi mô-
- Chất lượng lắp ráp lặp lại
- Hỗ trợ chu kỳ bảo trì thường xuyên
Hỗ trợ tùy chỉnh và kỹ thuật
Công ty TNHH Công nghệ Bán dẫn Miracle Giang Tô cung cấp hỗ trợ kỹ thuật mạnh mẽ trong suốt vòng đời của dự án.
- Đánh giá khả năng tương thích của phương tiện xử lý
- Hỗ trợ lựa chọn và cấu hình hệ thống chất lỏng
- Tối ưu hóa bố trí đường ống
- Thử nghiệm và xác nhận nguyên mẫu
- Tài liệu kỹ thuật và hướng dẫn cài đặt
Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. Giải pháp truyền chất lỏng công nghiệp cung cấp khả năng quản lý chất lỏng đáng tin cậy, sạch và ổn định cho môi trường sản xuất tiên tiến. Thông qua chuyên môn về vật liệu, kỹ thuật chính xác và thiết kế ở cấp độ hệ thống, chúng tôi giúp khách hàng đạt được các hoạt động an toàn hơn, năng suất cao hơn và độ ổn định lâu dài của quy trình.